Конференция с международным участием "Электронно-лучевые технологии" : КЭЛТ-2019; тезисы докладов, 30 сентября - 3 октября 2019 г. / Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники"
Язык: русский.Выходные данные: Черноголовка : Богородский печатник, 2019Физическая характеристика: 174, [1] с. : ил., табл. ; 29 см.ISBN: 9785895891148 Библиография: Библиогр. в конце ст.; Авт. указ.: с. 171-175.Предметная рубрика - Тема: Электронно-лучевые приборы -- Тезисы докладов | Электронные приборы -- Производство -- Электронно-лучевые методы -- Тезисы докладов Другие классификации: З851.1-060.16я431(2) Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр. в конце ст.
Авт. указ.: с. 171-175