Физико-технологические принципы формирования микроэлектронных приборных структур с заданными свойствами : монография / М. Г. Мустафаев, Д. Г. Мустафаева, Г. А. Мустафаев ; Министерство образования и науки РФ, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Северо-Кавказский горно-металлургический институт (государственный технологический университет)"
Язык: русский.Выходные данные: Владикавказ : Терек, 2017Физическая характеристика: 167 с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 978-5-901585-00-9 Библиография: Библиогр.: с. 147-167 (319 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Технологические процессы | Интегральные схемы -- Производство -- Физические основы Другие классификации: ( ) З844.15-060.6-64,0 ; З844.15-06Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2017-3/31487 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5676 | Доступно | 1-2068557 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2017-3/31487 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5676 | Доступно | 1-2068553 |
Технологические процессы производства элементов интегральной электроники
Библиогр.: с. 147-167 (319 назв.)