Технология микроклимата чистых помещений микроэлектроники : учебное пособие; [для студентов старших курсов, магистрантов и аспирантов технических вузов] / В.И. Каракеян, Н.М. Ларионов, А.С. Рябышенков, Ю.И. Штерн ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МИЭТ, 2019Физическая характеристика: 119 с. : ил., табл. ; 20 см.ISBN: 9785725609073 Библиография: Библиогр.: с. 115-117 (25 назв.).Предметная рубрика - Тема: Радиозаводы -- Микроклимат -- Учебные издания для высшей школы | Радиозаводы -- Производственные помещения чистые -- Учебные издания для высшей школы Другие классификации: З844.1-06-4я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 115-117 (25 назв.)