Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий : учебное пособие для аспирантов направления 11.06.01 / Д. Б. Золотухин, А. С. Климов, А. В. Тюньков [и др.] ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Язык: русский.Выходные данные: Томск : Изд-во ТУСУРа, 2020Физическая характеристика: 172 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785868898914 Серия: Серия Учебное издание ТУСУРа Примечания: Авт. указаны на обороте тит. с..Библиография: Библиогр.: с. 162-169 (85 назв.).Предметная рубрика - Тема: Материалы -- Ионная обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений | Электронные приборы -- Производство -- Ионно-плазменный метод -- Учебные издания для высших учебных заведений | Электронные приборы -- Производство -- Электронно-лучевые методы -- Учебные издания для высших учебных заведений | Материалы -- Плазменная обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений | Материалы -- Электронно-лучевая обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: Ж614я73-1 ; З85-06я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Авт. указаны на обороте тит. с.
Библиогр.: с. 162-169 (85 назв.)