Физико-химические процессы в микросоединениях полупроводниковых изделий / В.В. Зенин, Ю.Е. Сегал, Б.А. Спиридонов ; М-во образования Рос. Федерации, Воронеж. гос. техн. ун-т
Язык: русский.Выходные данные: Воронеж : Воронеж. гос. техн. ун-т, 2003Физическая характеристика: 168 с. : ил., табл. ; 21 см.Библиография: Библиогр. в конце гл..Предметная рубрика - Тема: Полупроводниковые приборы -- Контакты -- Физико-химические процессы | Полупроводниковые приборы -- Производство Неконтролируемые предметные термины: физико-химические процессы в микросоединенияхДругие классификации: ( ) З852-060.81,07 ; З852-069.7-01Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2004-3/14671 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 340 | Доступно | 718560 |
монтаж и методы контроля внутренних микросоединений п/п изделий
Библиогр. в конце гл.