Тепловые процессы при магнетронном распылении / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский ; под редакцией профессора В. И. Шаповалова ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2024Физическая характеристика: 139 с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 978-5-7629-3458-9 Библиография: Библиогр.: с. 127-139 (167 назв.).Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Магнетронное распыление -- Компьютерное моделирование | Тонкие пленки -- Тепловые свойства | COMSOL MULTIPHYSICS, пакет прикладных программДругие классификации: З843.13-060.7Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Моделирование тепловых процессов с помощью пакета программ COMSOL MULTIPHYSICS.
Библиогр.: с. 127-139 (167 назв.)