Методы элементного анализа материалов и структур микроэлектроники : учебное пособие; для аспирантов и студентов бакалавриата и магистратуры высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнология и микросистемная техника", 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Химия, физика и механика материалов" / Н. В. Андреева, М. А. Усикова ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2024Физическая характеристика: 162, [1] с. : ил., табл., цв. ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-7629-3392-6 Библиография: Библиогр. в конце разд..Предметная рубрика - Тема: Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Материалы -- Спектроскопия | Наноструктуры -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Спектроскопические исследования | Микроэлектроника -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Физические основы Другие классификации: З844.1я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр. в конце разд.