Зондовые нанотехнологии в электронике : В. Неволин
Язык: русский.Выходные данные: М. : Техносфера, 2005Физическая характеристика: 147, [1] с. : ил., цв. ил., табл. ; 22 см.ISBN: 5-94836-054-7 Серия: Мир электроники ; 7, 11Библиография: Библиогр. в конце гл..Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Зондовые методы Неконтролируемые предметные термины: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Оборудование | сканирующие туннельные микроскопы сканирующие атомно-силовые микроскопы Другие классификации: ( rubbk ) З844.19-06-5,0 ; З844.15-06 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд научного зала литературы по технике | Т2 З844.15/Н-405 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-286580 | |||
| Книга | РНБ (Московский) Фонд общего зала литературы по технике | Т1 З844.1 /Н-405 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-317873 | |||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж | 2005-5/9668 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 2707 | Доступно | 2074788 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж | 2005-5/9668 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 2707 | Доступно | 2074789 |
физические основы создания интегральных квантовых схем с использованием сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов
Библиогр. в конце гл.