Основы проектирования кремниевых микроэлектромеханических интегральных тензопреобразователей давления и микросистем с профилированной трехмерной мембранной структурой : научное издание / Соколов Л. В.
Язык: русский.Выходные данные: Жуковский : Петит, 2009Физическая характеристика: 167 с. : ил., табл. ; 29 см.ISBN: 978-5-85101-091-0 Библиография: Библиогр.: с. 141-163 (226 назв.).Предметная рубрика - Тема: Преобразователи давления микроэлектромеханические -- Проектирование Другие классификации: ( ) О567-04,07 ; З323-503-02Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2010-8/731 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 6961 | Доступно | 3118261 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2010-8/731 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 6961 | Доступно | 3118262 |
Библиогр.: с. 141-163 (226 назв.)