Подробности: Ионные технологии в производстве изделий электронной техники , учебное пособие , [для студентов вузов, обучающихся по специальностям радиоэлектронного приборостроения 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 210105 "Элетронные приборы", 210106 "Промышленная электроника" и 210108 "Микросистемная техника"]

Книга

Ионные технологии в производстве изделий электронной техники : учебное пособие; [для студентов вузов, обучающихся по специальностям радиоэлектронного приборостроения 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 210105 "Элетронные приборы", 210106 "Промышленная электроника" и 210108 "Микросистемная техника"] / В.И. Иванов, П.А. Лучников, А.С. Сигов ; под ред. чл.-корр. РАН А.С. Сигова

Автор: Иванов, Владимир Иванович -- АвторАвтор (Альтер.): Лучников, Петр Александрович -- Автор;Сигов, Александр Сергеевич -- АвторЯзык: русский.Выходные данные: Москва : Энергоатомиздат, 2010Физическая характеристика: 206 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-283-03309-9 Библиография: Библиогр.: с. 200-202 (27 назв.).Предметная рубрика - Тема: Электронные приборы -- Производство -- Ионно-плазменный метод -- Учебные издания для высших учебных заведений Неконтролируемые предметные термины: тонкие пленки - ионное распыление | интегральные схемы - сухое травление | полупроводниковые приборы - ионное легирование Другие классификации: ( rubbk ) З844.1-060.14я73-1 ; З85-06я73-1 Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Кол-во копий	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж	2011-3/27037 (Просмотр полки(Открывается ниже))	4130	Доступно		1-1470840
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж	2011-3/27037 (Просмотр полки(Открывается ниже))	4130	Доступно		3481387

Библиогр.: с. 200-202 (27 назв.)