Управление свойствами поверхностных слоев в технологии микроэлектроники с помощью лазерного излучения / З.Ю. Готра, С.А. Осередько
Сводное описание: Язык: русский.Выходные данные: 1985, Б. м.Библиография: Указ.. Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи
Указ.