Современное спецтехнологическое оборудование и автоматизация процессов полупроводникового производства / Моховикова Н.И. ; Шкармутин П.П.
Сводное описание: Тематический указатель литературыЯзык: русский.Выходные данные: Б. м., 1984Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи