Технология интегральных схем : учебное пособие; [для студентов специальностей "Микросистемная техника" (210108), "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (210104), "Электронные приборы и устройства" (210105) и "Физическая электроника" (210101)] / Е.С. Горнев, В.П. Бокарев, А.А. Мельников ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. проф. образования "Моск. гос. техн. ун-т радиотехники, электроники и автоматики"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики, 2012Физическая характеристика: 123 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 9785733908915 Библиография: Библиогр.: с. 117-118 (21 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство Другие классификации: З844.15-06я73-1Коллекция: НБР Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 117-118 (21 назв.)