Напыление пленок в вакууме : лекции; (практический курс) / д.ф.-м.н. С.И. Дорожкин ; Фонд инфраструктур. и образоват. программ, (МФТИ) Моск. физ.-техн. ин-т
Другие варианты заглавия: : Physical vapor deposition, PVDЯзык: русский.Выходные данные: Москва : [б.и.], 2012Физическая характеристика: 48 с. : ил., цв. ил. ; 21 см.Примечания: На тит.л. и обл. загл. также на англ. яз.: Physical vapor deposition, PVD.Библиография: Библиогр.: с. 44 (2 назв.).Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Нанесение напылением в вакууме -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.13-060.7я73-2 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
На тит.л. и обл. загл. также на англ. яз.: Physical vapor deposition, PVD
Библиогр.: с. 44 (2 назв.)