Тенденции развития оборудования для газофазной эпитаксии кремния / А.Н. Семенченко и др.
Сводное описание: Обзоры по электронной техникеЯзык: русский.Выходные данные: 1989, Б. м.Серия: ; Вып.1455Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи