Подробности: Технология материалов микро- и наноэлектроники

Книга

Технология материалов микро- и наноэлектроники / [Л.В. Кожитов, С.Г. Емельянов, В.Г. Косушкин и др.] ; Минобрнауки России, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. проф. образования "Юго-Зап. гос. ун-т"

Автор (Альтер.): Кожитов, Лев Васильевич, Автор ;
Емельянов, Сергей Геннадьевич (д-р техн. наук ; 1964-), Автор ;
Косушкин, Владимир Георгиевич, АвторОрганизация (Вторич.): Юго-Западный государственный университет (Курск), Прочие Язык: русский.Выходные данные: Курск : Юго-Западный государственный университет, 2012Физическая характеристика: 860, [1] с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785768107604 Издание: : 2-е изд., перераб. и испр.Примечания: Авт. указаны на обороте тит. л..Библиография: Библиогр. в конце глав.Предметная рубрика - Тема: Микроэлектроника | Наноэлектроника | Полупроводники -- Производство Другие классификации: З843.308 ; З844.1-06Коллекция: НБР Тип экземпляра: Книга

Нет реальных экземпляров для этой записи

Авт. указаны на обороте тит. л.

Пред. изд. 2007г.

Библиогр. в конце глав