Исследование технологических процессов подготовки монокристаллических подложек соединений А³В⁵ для эпитаксиальной технологии / Б.Д. Луфт, Л.Б. Хусид, М.Л. Яссен и др.
Язык: русский.Выходные данные: М. : Б. и., 1982Физическая характеристика: 29 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 25 (352)Библиография: Библиогр.: с. 27-29. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 83-4/19790 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6351259-10 |
Библиогр.: с. 27-29