Инженерная микроэлектроника : Физ. основы процессов пр-ва интегр. микросхем; Учеб. пособие
Язык: русский.Выходные данные: Ленинград : ЛЭТИ, 1979Физическая характеристика: 61 с. : ил. ; 20 см.Примечания: В надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Ленингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина).Библиография: Библиогр.: с. 60.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 80-4/10084 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6655432-10 |
В надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Ленингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина)
Библиогр.: с. 60