Технологическое оборудование микроэлектроники : Сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники ; Под ред. В.М. Редина
Язык: русский.Выходные данные: М. : МИЭТ, 1993Физическая характеристика: 68 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Библиогр. в конце ст.. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран. | 93-4/29 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5453758-10 |
Библиогр. в конце ст.