Технологические основы получения и электрические характеристики тонких нитрированных слоев в элементах интегральных схем : (По материалам отеч. и зарубеж. печати за 1971-1987 годы) / Г.В. Перов, Н.Д. Иванцова, Б.И. Сысоев
Язык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1987Физическая характеристика: 43 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 1315Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 40-43. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5758254-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 40-43