ПЕРСПЕКТИВЫ применения газового разряда в технологии интегральных схем : Метод. рекомендации / О-во "Знание" УССР, [РДЭНТП ; Подгот. к. т. н. Н.В. Богачем и В.В. Ледяевым]
Язык: русский.Выходные данные: Киев : О-во "Знание" УССР ; РДЭНТП, 1987Физическая характеристика: 20 с. : ил. ; 20 см.Серия: Достижения научно-технического прогресса и передовой производственный опыт в отраслях народного хозяйства . В помощь лектору и специалисту Библиография: Библиогр.: с. 20.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 88-4/21197 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5758424-10 |
Библиогр.: с. 20