Плазменная технология в производстве СБИС / [Толливер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др.] ; Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна ; Перевод с англ. Ю.М. Золотарева, В.В. Юдина ; Под ред. Е.С. Машковой
Язык: русский.Выходные данные: М. : Мир, 1987Физическая характеристика: 469 с. : ил. ; 22 см.Примечания: Авт. указаны на обороте тит. л..Библиография: Библиогр. в конце глав; Предм.-имен. указ.: с. 463-466; Перевод изд.: VLSI electronics microstructure science. Vol. 8: Plasma processing for VLSU (Orlando etc., 1984). Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 87-5/4216 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5759895-10 |
Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр. в конце глав
Предм.-имен. указ.: с. 463-466
Перевод изд.: VLSI electronics microstructure science. Vol. 8: Plasma processing for VLSU (Orlando etc., 1984)