Элементная база микро- и наноэлектроники: физика и технология : Межвуз. сб. / Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) ; Под ред. Ю.А. Чаплыгина
Язык: русский.Выходные данные: М. : МГИЭТ(ТУ), 1994Физическая характеристика: 179 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 5-7256-0014-9 Библиография: Библиогр. в конце ст.. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 95-3/285 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5462128-10 |
Библиогр. в конце ст.