Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии / [Е.Г. Гук, А.В. Ельцов, В.Б. Шуман, Т.А. Юрре] ; Отв. ред. д. х. н. А.В. Ельцов
Язык: русский.Выходные данные: Л. : Наука. Ленингр. отд-ние, 1984Физическая характеристика: 117 с. : ил. ; 22 см.Примечания: В надзаг.: АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А.Ф. Иоффе.Библиография: Библиогр. в конце глав и с. 116.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 84-5/5462 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6083384-10 |
В надзаг.: АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А.Ф. Иоффе
Библиогр. в конце глав и с. 116