Физические основы технологии микроэлектронной аппаратуры : Конспект лекций / [Н.Е. Скляров, В.В. Соловьев, Ю.А. Тимофеев, В.С. Пархоменко ; Под ред. К.А. Сапожкова]
Язык: русский.Выходные данные: Пенза : ППИ, 1980Физическая характеристика: 68 с. : ил. ; 20 см.Примечания: Авт. указаны на обороте тит. л.; В надзаг.: Пенз. политехн. ин-т.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 80-4/27350 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6429766-10 |
Авт. указаны на обороте тит. л.
В надзаг.: Пенз. политехн. ин-т