Моделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС
Язык: русский.Выходные данные: Киев : ИК, 1989Физическая характеристика: [1], 20 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; 89-46Библиография: Библиогр.: с. 20 (12 назв.).Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 90-4/164 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5535163-10 |
Библиогр.: с. 20 (12 назв.)