Растровая электронная микроскопия дефектов в кремнии / Латышенко В.Ф., Шаховцов В.И., Шейхет Э.Г.
Язык: русский.Выходные данные: Киев : Ин-т физики. ОНТИ, 1986Физическая характеристика: 26 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 7Примечания: На обл. авт. не указаны.Библиография: Библиогр.: с. 22-26. Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
На обл. авт. не указаны
Библиогр.: с. 22-26