Осаждение поликристаллических материалов методом CVD / Владыко М.Н., Масалов В.М., Колчин А.А., Татарченко В.А.
Язык: русский.Выходные данные: Черноголовка : Ин-т физики твердого тела, 1986Физическая характеристика: 79 с. : граф. ; 20 см.Серия: Препринт Библиография: Библиогр.: с. 73-79.Особенности распространения и использования: ДСП. Экз. № 4. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд литературы для служебного пользования | 88-50К/4510 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-4832766 |
Библиогр.: с. 73-79
ДСП. Экз. № 4