Аппаратура для получения эпитаксиальных слоев элементарных полупроводников из газовой среды / [И.В. Гранков, В.М. Гуревич, Л.С. Иванов и др.]
Язык: русский.Выходные данные: Москва : ЦНИИцветмет экономики и информ., 1979Физическая характеристика: 40 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзорная информация ; Вып. 3Библиография: Библиогр.: с. 38-40.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П10/5594 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6490346-10 |
Библиогр.: с. 38-40