Осаждение тонких пленок из низкоэнергетических ионных пучков / [К. ф.-м. н. Е.Я. Черняк]
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Электроника, 1979Физическая характеристика: 55 с. : ил. ; 22 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 676Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 49-55. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6493906-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 49-55