Система кремний-диоксид кремния субмикронных СБИС / Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев
Язык: русский.Выходные данные: М. : Техносфера, 2003Физическая характеристика: 383 с. : ил. ; 22 см.ISBN: 5-94836-008-3 Библиография: Библиогр. в конце гл..Предметная рубрика - Тема: Диэлектрик-полупроводник, система | Сверхбольшие интегральные схемы Неконтролируемые предметные термины: Кремний, двуокись - Электрофизические свойства | Микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие - Производство УДК: 621.382, 3, rusДругие классификации: ( rugasnti ) 47 ; ( rubbk ) 22.85 ; З852-01 ; З844.15 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж | 2003-5/4560 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 1106 | Доступно | 515623 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж | 2003-5/4560 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 1106 | Доступно | 515624 |
Библиогр. в конце гл.