Современные технологические процессы в микроэлектронике. Ч. 4: Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами / С.В. Грушецкий, А.П. Достенко
Сводное описание: Современные технологические процессы в микроэлектронике : Метод. пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технология микросхем", "Соврем. технол. процессы в пр-ве БИС и СБИС" для спец. 0705, 0648 / М-во высш. и сред. спец. образования БССР. Мин. радиотехн. ин-т. Каф. технологии радиоэлектрон. аппаратурыЯзык: русский.Выходные данные: Б. м., 1981Физическая характеристика: 49 с. : ил.Библиография: Библиогр.: с. 45-49.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 82-4/29112 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6246954-10 |
Библиогр.: с. 45-49