Подробности: Физико-химические основы микроэлектроники , Свойства тонких пленок , Учеб. пособие

Книга

Физико-химические основы микроэлектроники : Свойства тонких пленок; Учеб. пособие / В.Г. Нефедов, Ю.С. Кулешов, О.Б. Гусев ; Гос. ком. РФ по высш. образованию. С.-Петерб. гос. акад. аэрокосм. приборостроения

Автор: Нефедов, Вячеслав ГригорьевичАвтор (Альтер.): Кулешов, Юрий Сергеевич ;
Гусев, Олег БорисовичЯзык: русский.Выходные данные: СПб. : СПбГААП, 1993Физическая характеристика: 50 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 5-230-10302-7 Библиография: Библиогр.: с. 49.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года	94-4/9036 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		5414534-10

Библиогр.: с. 49