Физические основы ионно-лучевого легирования : Материалы науч.-конф. Июнь, 1971 г., Горький / [Редколлегия: П.В. Павлов (ред.) и др. ; М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР. Горьк. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского. Горьк. исслед. физ.-техн. ин-т "ГИФТИ". Ч. 1]-
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: Горький : Б. и., 1972-Физическая характеристика: 25 см.Библиография: Списки лит. в конце докл..Предметная рубрика - Тема: Полупроводники -- Легирование ионное -- Сборники Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Списки лит. в конце докл.