РЭМ-изображение щелевидных субмикронных структур в кремнии / Ю.А. Новиков, А.В. Раков, А.Н. Симонов и др.
Язык: русский.Выходные данные: М. : Б. и., 1991Физическая характеристика: 26 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 26Библиография: Библиогр.: с. 23.Предметная рубрика - Тема: Кремний -- Структура Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 91-4/5188 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 8753999-10 |
Библиогр.: с. 23