Методы контроля, используемые в производстве тонкопленочных и твердых микросхем : Обзор по материалам отечеств. и зарубежной печати за 1960-1965 гг. / Сост.: Невский, Ю.А., Нудельман, А.С., Трубецкой, А.И. ; М-во электронной пром-сти СССР. Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исследований и науч. информации
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1967Физическая характеристика: 62 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры научно-технической литературы по электронной технике ; № 12 (1966 г.)Примечания: На обл. авт. не указаны.Библиография: Библиогр.: с. 61.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П10/3313 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 8825537-10 |
На обл. авт. не указаны
Библиогр.: с. 61