Анализ технологических режимов ионно-плазменного распыления в технологии устройств электроники и радиофотоники, учебное пособие
- 70 экз.978-5-7629-2340-8/[КН-П-18-090618]/русский (rus)/Анализ технологических режимов ионно-плазменного распыления в технологии устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие / Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина) ; [А. А. Семенов и др.].Анализ технологических режимов ионно-плазменного распыления в технологии устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие / Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина).Анализ технологических режимов ионно-плазменного распыления в технологии устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие.Санкт-Петербург/ЛЭТИ/, 2018 ( ). - ЛЭТИ, 2018. - 35, [1] с. : ил., табл. ; 21 см.Анализ технологических режимов ионно-плазменного распыления в технологии устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие. Санкт-Петербург, 2018 .
Библиогр.: с. 35 (14 назв.). Библиогр.: с. 35 (14 назв.).Тонкие пленки -- Ионно-плазменная обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений/Газоразрядная плазма -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.13-06я73-1/В333.3я73-1/Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет /
Библиогр.: с. 35 (14 назв.). Библиогр.: с. 35 (14 назв.).Тонкие пленки -- Ионно-плазменная обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений/Газоразрядная плазма -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.13-06я73-1/В333.3я73-1/Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет /