Анализ технологических режимов ионно-плазменного распыления в технологии устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие / Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина) ; [А. А. Семенов и др.]
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : ЛЭТИ, 2018Физическая характеристика: 35, [1] с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 978-5-7629-2340-8 Библиография: Библиогр.: с. 35 (14 назв.).Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Ионно-плазменная обработка | Газоразрядная плазма -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.13-06я73-1 ; В333.3я73-1Коллекция: НБР ; Национальная библиография Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Физика газоразрядной плазмы
Библиогр.: с. 35 (14 назв.)