Процессы и оборудование микротехнологии, модули 1 и 2, учебное пособие, [для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлетроника" и "Наноинженерия"]
- 100 экз.978-5-7038-4864-7/[КН-П-18-097421]/русский (rus)/Процессы и оборудование микротехнологии : модули 1 и 2 : учебное пособие : [для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлетроника" и "Наноинженерия"] / Ю.Б. Цветков ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)", [Факультет "Машиностроительные технологии", Кафедра "Электронные технологии в машиностроении"].Процессы и оборудование микротехнологии : модули 1 и 2 : учебное пособие : [для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлетроника" и "Наноинженерия"] / Ю.Б. Цветков.Процессы и оборудование микротехнологии : модули 1 и 2 : учебное пособие : [для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлетроника" и "Наноинженерия"].Москва/Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана/, 2018 ( ). - Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2018. - 122, [1] с. : ил., табл., цв. ил., табл. ; 24 см. - (Учебное пособие МГТУ им. Н.Э. Баумана).Процессы и оборудование микротехнологии : модули 1 и 2 : учебное пособие : [для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлетроника" и "Наноинженерия"]. Москва, 2018 .
Библиогр. в конце модулей. Библиогр. в конце модулей.Микротехнология -- Учебные издания для высших учебных заведений/Интегральные схемы -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений/Кремниевые пластины -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-06я73-1/З843.322.408я73-1/
Библиогр. в конце модулей. Библиогр. в конце модулей.Микротехнология -- Учебные издания для высших учебных заведений/Интегральные схемы -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений/Кремниевые пластины -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-06я73-1/З843.322.408я73-1/