Процессы и оборудование микротехнологии : модули 1 и 2; учебное пособие; [для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлетроника" и "Наноинженерия"] / Ю.Б. Цветков ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)", [Факультет "Машиностроительные технологии", Кафедра "Электронные технологии в машиностроении"]
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2018Физическая характеристика: 122, [1] с. : ил., табл., цв. ил., табл. ; 24 см.ISBN: 978-5-7038-4864-7 Серия: Учебное пособие МГТУ им. Н.Э. Баумана Библиография: Библиогр. в конце модулей.Предметная рубрика - Тема: Микротехнология -- Учебные издания для высших учебных заведений | Интегральные схемы -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство | Кремниевые пластины -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство Другие классификации: З844.15-06я73-1 ; З843.322.408я73-1Коллекция: НБР ; Национальная библиография Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Рассмотрены примеры производства интегральных микросхем и изготовление кремниевых пластин
Библиогр. в конце модулей