Материалы и процессы формирования систем металлизации кремниевых интегральных схем, учебное пособие, для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"
2007-3/22644 2007-3/22644 - 100 экз.5-7256-0410-1/[2007-44318]/русский (rus)/Материалы и процессы формирования систем металлизации кремниевых интегральных схем : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Д.Г. Громов, А.И. Молчалов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т).Материалы и процессы формирования систем металлизации кремниевых интегральных схем : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Д.Г. Громов, А.И. Молчалов.Материалы и процессы формирования систем металлизации кремниевых интегральных схем : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника".Москва/МИЭТ/, 2006 ( ). - МИЭТ, 2006. - 179 с. : ил., табл. ; 20 см.Материалы и процессы формирования систем металлизации кремниевых интегральных схем : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Москва, 2006 .
Библиогр.: с. 166-176 (159 назв.). Библиогр.: с. 166-176 (159 назв.).Интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.152-060.7-642,0/З844.15-060.7я73-1/
Библиогр.: с. 166-176 (159 назв.). Библиогр.: с. 166-176 (159 назв.).Интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.152-060.7-642,0/З844.15-060.7я73-1/