Материалы и процессы формирования систем металлизации кремниевых интегральных схем : учебное пособие; для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Д.Г. Громов, А.И. Молчалов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МИЭТ, 2006Физическая характеристика: 179 с. : ил., табл. ; 20 см.ISBN: 5-7256-0410-1 Библиография: Библиогр.: с. 166-176 (159 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Металлизация Неконтролируемые предметные термины: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Большие и сверхбольшие интегральные схемы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Выбор технологического вариантаДругие классификации: ( ) З844.152-060.7-642,0 ; З844.15-060.7я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2007-3/22644 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 2368 | Доступно | 2487113 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2007-3/22644 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 2368 | Доступно | 2487114 |
Библиогр.: с. 166-176 (159 назв.)