Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем, учебное пособие, по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника"
- 30 экз.978-5-7782-4726-0/[2022-73547]/русский/Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учебное пособие : по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" / В. Ю. Васильев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Новосибирский государственный технический университет, [Факультет радиотехники и электроники].Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учебное пособие : по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" / В. Ю. Васильев.Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учебное пособие : по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника".Новосибирск/Изд-во НГТУ/, 2022 ( ). - Изд-во НГТУ, 2022. - 129, [1] с. : ил., цв. ил., табл. ; 21 см.Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учебное пособие : по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника". Новосибирск, 2022 .
Библиогр.: с. 119-125 (85 назв.) и в конце глав. Библиогр.: с. 119-125 (85 назв.) и в конце глав.Интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений/nlr_sh2/31.1/З844.15-060.7я73-1/
Библиогр.: с. 119-125 (85 назв.) и в конце глав. Библиогр.: с. 119-125 (85 назв.) и в конце глав.Интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений/nlr_sh2/31.1/З844.15-060.7я73-1/