Быстрые термические процессы в технологии микроэлектроники, Учеб. пособие по курсу "Перспектив. процессы технологии микроэлектроники", [Для межвуз. использ.]
2002-3/2194 2002-3/2194 - 100 экз.5-7256-0289-3/[2001-50322]/русский (rus)/Быстрые термические процессы в технологии микроэлектроники : Учеб. пособие по курсу "Перспектив. процессы технологии микроэлектроники" : [Для межвуз. использ.] / Ю. П. Райнова ; М-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т).Быстрые термические процессы в технологии микроэлектроники : Учеб. пособие по курсу "Перспектив. процессы технологии микроэлектроники" : [Для межвуз. использ.] / Ю. П. Райнова.Быстрые термические процессы в технологии микроэлектроники : Учеб. пособие по курсу "Перспектив. процессы технологии микроэлектроники" : [Для межвуз. использ.].М./МИЭТ/, 2001 ( ). - МИЭТ, 2001. - 103 с., [1] л. табл. : ил. ; 20 см.Быстрые термические процессы в технологии микроэлектроники : Учеб. пособие по курсу "Перспектив. процессы технологии микроэлектроники" : [Для межвуз. использ.]. М., 2001 .
Библиогр.: с. 99-101. Библиогр.: с. 99-101.Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Тепловые процессы -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Тепловые процессы -- Учебные издания для высшей школы/47/32.844.1я73/З844.1-06я73-1/
Библиогр.: с. 99-101. Библиогр.: с. 99-101.Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Тепловые процессы -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Тепловые процессы -- Учебные издания для высшей школы/47/32.844.1я73/З844.1-06я73-1/