Быстрые термические процессы в технологии микроэлектроники : Учеб. пособие по курсу "Перспектив. процессы технологии микроэлектроники"; [Для межвуз. использ.] / Ю. П. Райнова ; М-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Язык: русский.Выходные данные: М. : МИЭТ, 2001Физическая характеристика: 103 с., [1] л. табл. : ил. ; 20 см.ISBN: 5-7256-0289-3 Библиография: Библиогр.: с. 99-101.Предметная рубрика - Тема: Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы -- Производство -- Тепловые процессы | Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Учебные издания для высшей школы -- Производство -- Тепловые процессы УДК: 621.382.049.77.002:621.78(075.8), 3, rusДругие классификации: ( ) 47 ; ( ) 32.844.1я73 ; З844.1-06я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2002-3/2194 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 2426 | Доступно | 215770 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2002-3/2194 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 2426 | Доступно | 215771 |
Библиогр.: с. 99-101