Высоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР
2011-4/522 2011-4/522 [2010-102245]/русский/Высоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР / А.В. Водопьянов, С.В. Голубев, Д.А. Мансфельд [и др.].Высоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР / А.В. Водопьянов, С.В. Голубев, Д.А. Мансфельд [и др.].Высоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР.Нижний Новгород/[б. и.]/, 2010 ( ). - [б. и.], 2010. - 12 с. : ил. ; 21 см. - (Препринт / Рос. акад. наук, Ин-т прикл. физики ; N°800).Высоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР. Нижний Новгород, 2010 .
Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 11-12 (24 назв.). Библиогр.: с. 11-12 (24 назв.).Нитриды галлия -- Травление -- Плазмохимические методы/З843.324.408/
Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 11-12 (24 назв.). Библиогр.: с. 11-12 (24 назв.).Нитриды галлия -- Травление -- Плазмохимические методы/З843.324.408/