Высоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР (Запись № 1323364)

Подробности
000 -МАРКЕР
контрольное поле 01653nam0a2200337 4500
001 - ИДЕНТИФИКАТОР ЗАПИСИ
контрольное поле RU\NLR\bibl\1727306
005 - ИДЕНТИФИКАТОР ВЕРСИИ
контрольное поле 20260405224617.0
021 ## - НОМЕР ГОСУДАРСТВЕННОЙ РЕГИСТРАЦИИ
Код страны российская федерация
Номер 2010-102245
Номер Листа государственной регистраци 6911
035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА
Идентификатор записи (NLR Aleph) 001718272
100 ## - ДАННЫЕ ОБЩЕЙ ОБРАБОТКИ
Данные общей обработки 20110126d2010 |||y0rusy50 ca
101 0# - ЯЗЫК РЕСУРСА
Язык текста, звукозаписи и т.д. русский
Язык резюме английский
102 ## - СТРАНА ПУБЛИКАЦИИ ИЛИ ПРОИЗВОДСТВА
Страна публикации российская федерация
105 ## - ПОЛЕ КОДИРОВАННЫХ ДАННЫХ: ТЕКСТОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, МОНОГРАФИЧЕСКИЕ
Кодированные данные о монографическом текстовом документе a |||||||||
200 1# - ЗАГЛАВИЕ И СВЕДЕНИЯ ОБ ОТВЕТСТВЕННОСТИ
Основное заглавие Высоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР
Первые сведения об ответственности А.В. Водопьянов, С.В. Голубев, Д.А. Мансфельд [и др.]
210 ## - ПУБЛИКАЦИЯ, РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ДР.
Место издания, распространения и т.д. Нижний Новгород
Имя издателя, распространителя и т. д. [б. и.]
Дата издания, распространения и т.д. 2010
215 ## - ФИЗИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА
Специфическое обозначение материала и объем 12 с.
Другие сведения о физической характеристике ил.
Размеры 21
225 1# - СЕРИЯ
Основное заглавие серии Препринт
Сведения об ответственности Рос. акад. наук, Ин-т прикл. физики
Обозначение тома N°800
300 ## - ОБЩИЕ ПРИМЕЧАНИЯ
Текст примечания Рез. на англ. яз.
320 ## - ПРИМЕЧАНИЯ О НАЛИЧИИ В ДОКУМЕНТЕ БИБЛИОГРАФИИ / УКАЗАТЕЛЯ
Текст примечания Библиогр.: с. 11-12 (24 назв.)
606 1# - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ
Наименование темы Нитриды галлия
Тематический подзаголовок Травление
-- Плазмохимические методы
Системный номер авторитетной/нормативной записи 2157464
Идентификатор авторитетной/нормативной записи RU\NLR\auth\661603384
686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ
Индекс З843.324.408
701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ
Начальный элемент ввода Водопьянов
Часть имени, кроме начального элемента ввода А. В.
Расширение инициалов личного имени Алексей Валентинович
Код отношения Автор
701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ
Код отношения Автор
Материалы, к которым относится поле rus
Графика поля Кириллица
Начальный элемент ввода Голубев
Часть имени, кроме начального элемента ввода С. В.
Дополнения к именам, кроме дат д-р физ.-мат. наук
Расширение инициалов личного имени Сергей Владимирович
Идентификатор авторитетной/нормативной записи RU\NLR\auth\77102691
Системный номер авторитетной/нормативной записи 85617
701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ
Начальный элемент ввода Мансфельд
Часть имени, кроме начального элемента ввода Д. А.
Расширение инициалов личного имени Дмитрий Анатольевич
Код отношения Автор
801 #0 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ
Страна российская федерация
Организация NLR
Дата составления 20110126
Правила каталогизации RCR
801 #1 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ
Страна российская федерация
Организация NLR
Дата составления 20110126
830 ## - ОБЩЕЕ ПРИМЕЧАНИЕ, СОСТАВЛЕННОЕ КАТАЛОГИЗАТОРОМ
Текст примечания авт. по кн.
942 ## - ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЗАПИСИ (АБИС)
Тип экземпляра АБИС Книга
980 ## - КОЛЛЕКЦИЯ
Название коллекции Национальная библиография
Экземпляры
Тип экземпляра Дата поступления Источник поступления Библиотека постоянного хранения Библиотека текущего хранения Место хранения Шифр хранения Штрих-код Статус не для выдачи
Книга 26.01.2011 Обязательный экземпляр РНБ (Московский) РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж 2011-4/522 1-49775  
Книга 26.01.2011 Обязательный экземпляр РНБ (Московский) РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж 2011-4/522 3341130