Нанолитография в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене
- 500 экз.978-5-7422-8528-1/[КН-П-24-053517]/русский (rus)/Нанолитография в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене / Р. П. Сейсян.Нанолитография в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене / Р. П. Сейсян.Нанолитография в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене.Санкт-Петербург/Политех-Пресс/Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого/, 2024 ( ). - Политех-Пресс, Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 2024. - 133 с. : ил., цв. ил., табл. ; 22 см.Нанолитография в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене. Санкт-Петербург, 2024 .
Библиогр.: с. 128-133 (69 назв.). Библиогр.: с. 128-133 (69 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод/Интегральные схемы -- Производство -- Применение нанолитографии/nlr_sh2/З844.15-06/
Библиогр.: с. 128-133 (69 назв.). Библиогр.: с. 128-133 (69 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод/Интегральные схемы -- Производство -- Применение нанолитографии/nlr_sh2/З844.15-06/