Нанолитография в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене / Р. П. Сейсян
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : Политех-Пресс ; Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 2024Физическая характеристика: 133 с. : ил., цв. ил., табл. ; 22 см.ISBN: 978-5-7422-8528-1 Библиография: Библиогр.: с. 128-133 (69 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод | Интегральные схемы -- Производство -- Применение нанолитографииДругие классификации: З844.15-06Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 128-133 (69 назв.)