Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники, учебное пособие, [для студентов специальности 200100 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"]
2006-4/15370 - 100 экз.5-94506-136-0/[2006-17689]/русский/Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники : учебное пособие : [для студентов специальности 200100 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"] / Ф.И. Григорьев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электроники и математики (Техн. ун-т).Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники : учебное пособие : [для студентов специальности 200100 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"] / Ф.И. Григорьев.Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники : учебное пособие : [для студентов специальности 200100 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"].Москва/Московский государственный институт электроники и математики/, 2006 ( ). - Московский государственный институт электроники и математики, 2006. - 36 с. : ил. ; 21 см.Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники : учебное пособие : [для студентов специальности 200100 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"]. Москва, 2006 .
Библиогр.: с. 35 (9 назв.). Библиогр.: с. 35 (9 назв.).Тонкие пленки -- Ионно-плазменное нанесение -- Учебные издания для высших учебных заведений/Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.13-060.7я73-1/
Библиогр.: с. 35 (9 назв.). Библиогр.: с. 35 (9 назв.).Тонкие пленки -- Ионно-плазменное нанесение -- Учебные издания для высших учебных заведений/Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.13-060.7я73-1/